Uvod u vakuumske pumpe i opremu za vakuum

1 Klasifikacija i primjena vakuumskih raspona

Vakuum se određuje veličinom pritiska. Svaka poboljšanja u nivou vakuuma odgovara manje gustoći molekula plina i čistijem fizičkom okruženju, pokrivajući sve scenarije od konvencionalne industrijske obrade do najsavremenijih temeljnog istraživanja fizike.

• S druge strane, za sve proizvode koji sadrže gume, primjenjuje se sljedeći standard: U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju u proizvodnji proizvoda iz kategorije II.
• Srednji vakuum (102 ~ 10−1 Pa) Primjene: toplinska obrada odgorivanjem pod vakuumom, vakuumsko sušenje materijala smrzavanjem pod vakuumom, vakuumska destilacija i pročišćavanje u kemijskoj industriji, vakuumsko impregnacija predmeta.
• Sredstva za proizvodnju električne energije Primjene: Optičko i magnetronsko poliranje, promatranje elektronskom mikroskopom, vakuumsko metalurško topljenje, proizvodnja poluprovodnika.
• "Specifična" za "izračunavanje" ＜ 10−5 Pa) Ulozi: površinska fizička analiza (SEM/XPS), komore za ubrzavanje čestica, simulacija zrakoplovno-kosmičkog okruženja, vakuumske komore za uređaje za nuklearnu fuziju.
• "Specifična" za "izravno visoko vakuum" (XHV, ＜ 10−9 Pa) Primjene: Instrumenti za otkrivanje gravitacijskih valova, vrhunski eksperimenti temeljne fizike, istraživanje ultračistih površinskih znanosti, proizvodnja ultra preciznih instrumenata.

2 Opći okvir klasifikacije vakuumskih pumpi

Kao osnovna oprema za proizvodnju vakuuma, vakuumske pumpe se kategoriziraju po tri dimenzije: načelo rada, raspon radnog tlaka i medij za zapečaćivanje/mazanje. U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.

2.1 Klasifikacija po načelu rada

• S druge strane, za proizvodnju električnih goriva Gas se neprekidno prenosi mehaničkim pokretom, što predstavlja najčešće prihvaćenu kategoriju u industriji. Podjeljuje se na pumpe s pozitivnim pomeranjem (rotirajuće pumpe, pompe za pomicanje) i pumpe za prijenos momenta (turbomolekularne pumpe, mlazne pumpe).
• Uzimaju pumpe U slučaju da je proizvodnja materijala u skladu s ovom Uredbom u skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, u skladu s člankom 3. točkom (a) ovog članka, podrijetlom od proizvođača, proizvođača ili proizvođača, to znači da je proizvodnja materijala u skladu s člankom Tipične vrste uključuju kriopumpove i pumpe za sputter-ione.

2.2 Klasifikacija po rasponu radnog tlaka

• Sljedeći članak : Evakuira atmosferski tlak kako bi se uspostavio početni grubi vakuum, koji služi kao osnovna jedinica svih vakuumskih sustava.
• Glavne pumpe za potrebe tehničkih postupaka, oprema se može koristiti za proizvodnju električne energije.
• Pomagalušim pumama u skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, za sve vrste goriva, koje se upotrebljavaju u proizvodnji goriva, za koje se primjenjuje sljedeći opis:

2.3 Klasifikacija po čvrstoći i sredini za podmazivanje

• S druge strane, za proizvodnju električnih vozila za snimanje električne energije, primjenjuje se sljedeće: u skladu s člankom 3. stavkom 1. ovog Pravilnika, za proizvodnju i prodaju proizvoda u Uniji, proizvođač mora imati pravo na: Nedostatak je povratno strujanje naftne pare, što zahtijeva separatore za mljevu. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, "proizvodnja" znači proizvodnja proizvoda koji se upotrebljava za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju u proizvodnji proizvoda koji se upotrebljavaju u proizvodnji proizvoda koji se upotrebljavaju u proizvodnji proizvoda koji se upotrebljavaju u proizvodnji proizvoda koji
• Spušnici za suho vakuum : Bez ulja zatvaranje i mazanje potpuno eliminira kontaminaciju parom ulja, s pojednostavljenim održavanjem nakon operacije. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br.

3 Glavne vakuumske pumpe s pozitivnim pomicanjem

3.1 Rotirajuće pumpe za plinske žlijezde

3.1.1 Princip rada i struktura

Ključne komponente čine stator, ekscentrični rotor i elastične lopate. Specijalno vakuumsko ulje ispunjava šupljinu pumpe, formirajući uljni film koji zapečaćuje mehaničke prostore i pruža podmazivanje. U slučaju da je to potrebno za proizvodnju električne energije, u skladu s člankom 6. stavkom 3. točkom (a) ovog članka, proizvodnja električne energije može se upotrebljavati za proizvodnju električne energije. Dvostepenske rotirajuće pumpe za šipke usvajaju serijsku kompresiju kako bi postigle superiorni krajnji vakuum u usporedbi s jednom stupnju modelima. U slučaju da je proizvodnja nafte u skladu s člankom 3. točkom (a) ovog članka, u skladu s člankom 3. točkom (b) ovog članka, u skladu s člankom 3. točkom (c) ovog članka, u skladu s člankom 3. točkom (b) ovog članka, u skladu s člankom 3. točkom (c) ovog članka,

3.1.2 Karakteristike performansi

Brzina pumpanja ostaje stabilna u širokom rasponu pritiska i postupno se raspada s smanjenjem pritiska na ulazu. Dvostepenske jedinice pružaju krajnji pritisak od 10−3~10−4 Pa, što ih čini primarnom opremom za grubi i srednji vakuum i standardnim prednjim pumpama za sisteme visokog vakuuma.

3.1.3 Zahtjevi i kriteriji za odabir

• U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 765/2008 Europska komisija je odlučila o uvođenju mjera za utvrđivanje primjene Uredbe (EZ) br.
• U slučaju da je to moguće, za određene vrste goriva, potrebno je utvrditi razinu i vrijeme ispuštanja.
• U slučaju da je proizvodnja ulja u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog Pravilnika, u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog Pravilnika, ograničena na proizvodnju ulja u skladu s člankom 6. točkom (a) ovog Pravilnika, proizvođač mora osigurati da je

3.2 Korenje pumpe (Booster pumpe)

3.2.1 Princip rada

Par rotora u obliku osmice unutar šupljine pumpe rotira sinhrono u suprotnim smjerovima pod pokretom preciznih zupčanika bez fizičkog kontakta, prenoseći plin kroz periodične promjene zapremine. U tijelu pumpe ne dolazi do unutarnjeg komprimiranja; razlikovanje pritiska izduvnog plina u potpunosti se opskrbljuje prednim pumpama (rotirajuće pumpe ili suhe pumpe), stoga su korijenske pumpe moraju raditi u seriji s prednim pumpama kao skupom pumpe. U slučaju da je u pitanju sustav za otpuštanje, mora se utvrditi da je to sustav za otpuštanje. U slučaju da se u slučaju izloženosti u skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (a) ovog članka ne primjenjuje, u skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (b) ovog članka, to se može primjenjivati na sve proizvode koji se upotrebljavaju za proizvodnju električne energije.

3.2.2 Karakteristike performansi

U skladu s člankom 3. stavkom 3. točkom (a) ovog članka, za sve proizvode koji se upotrebljavaju u proizvodnji električne energije, za koje se primjenjuje točka (b) ovog članka, za koje se primjenjuje točka (c) ovog članka, za koje se primjenjuje točka (d) ovog članka, za koje se

3.2.3 Zahtjevi i kriteriji za odabir

• Tipične primjene: vakuumsko metalurško topljenje, optičko/elektronsko vakuumsko premazivanje, vakuumsko toplinsko tretiranje radnih dijelova, brzo evakuacija velikih vakuumskih komora.
• U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, za sve proizvode koji se upotrebljavaju u proizvodnji električne energije, za koje se primjenjuje odredba o brzini i brzini, primjenjuje se sljedeći postupak:

3.3 Serija suvih vakuumskih pumpi (čiste pumpe bez ulja)

Suhe pumpe rade bez zatvaranja ili podmazivanja na bazi ulja, potpuno eliminirajući kontaminaciju naftnim parom i zadovoljujući scenarije visoke čistoće, uključujući proizvodnju poluprovodnika, proizvodnju lijekova i precizne analitičke instrumente. U nastavku su navedene četiri glavne vrste:

• Sljedeći članci U slučaju da je plin u više stupnjeva komprimiran parom rotora u obliku kandžica koji se ne dodiruju. Završen je u skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 715/2009
• -Skrup suhe pumpe. Dvije vijke rotora mreža za ostvarenje izotermalne kompresije, postizanje visokih kompresije odnos u jednoj fazi s izravnim atmosferskim izduvnim kapacitetom. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju električne energije u proizvodnji električne energije u Uniji primjenjuje se proizvodnja električne energije u Uniji.
• Sklopite suve pumpe U slučaju da se u slučaju izloženosti u skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, u slučaju izloženosti u skladu s člankom 6. točkom (b) ovog članka, u slučaju izloženosti u skladu s člankom 6. točkom (c) ovog članka, u slučaju izloženosti u skladu s člankom Kompaktnost, niska buku i vibracije te niska stopa neuspjeha čine pompe idealnim za laboratorijske masne spektrometre, detektore curenja helija i druge male precizne instrumente.
• Sljedeći članak: U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, radi se o proizvodnji električnih plinova koji se upotrebljavaju za proizvodnju električnih plinova.

4 Vakumne pumpe za prenos momenta (glavne pumpe za visok vakuum)

4.1 Turbomolekularne pumpe

4.1.1 Princip rada

U slučaju da je to potrebno, to se može učiniti na temelju postupka utvrđenog u točki 6. Rotori se okreću na desetine tisuća rotacija u minuti, prenoseći momentum na molekule plina kroz sudaru kako bi pokrenuli usmjeren transport plina. Većina komercijalnih projekata usvaja kompozitnu strukturu turbine-Holweck kako bi se uravnotežila visoka brzina pumpanja i visoki omjer kompresije. U slučaju teških plinova kao što je argon, odnos kompresije je iznimno visok, ali relativno nizak za lagane plinove (vodonik, helijum), što zahtijeva prethodno ispražnjenje pomoću prilagođenih prednjih pumpi. Dostupne su dvije konfiguracije ležajeva: jeftini mehanički ležaji podmazani masnim/mahiljskim čipovima i napredni potpuno magnetni ležaji za levitaciju s beskontaktnim radom, niskom vibracijom i produženim životnim vijekom.

4.1.2 Zahtjevi i smjernice za odabir

Krajnji vakuum kreće se od 10−2 do 10−9 Pa. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, "sistem za upravljanje energijom" znači sustav za upravljanje energijom koji je osmišljen za upravljanje energijom. U slučaju da se ne provede ispitivanje, potrebno je utvrditi da je ispitivanje u skladu s člankom 6. stavkom 2. U slučaju da se ne primjenjuje propusnica, ne smije se upotrebljavati.

4.2 Difuzne pumpe za ulje

4.2.1 Princip rada

Silikonovo ulje ili polifenil eter radijuća tekućina zagrijava se kako bi se generirali superzvučni smjerni mlaznici pare, koji uvlače i komprimiraju molekule plina putem viskoznog sudara za pumpanje. U slučaju da je to potrebno, ispitni sustav može se koristiti za ispitivanje. Ne postoje pokretne mehaničke komponente koje osiguravaju stabilan rad, nisku cijenu održavanja, veliku brzinu pumpanja i visok odnos troškova i učinkovitosti. Glavna mana je povratna struja parova nafte, koja zahtijeva zamke za hladnoću ili visokoefikasne zaštitne čepove za zaštitu vakuumskih komora.

4.2.2 Zahtjevi i smjernice za odabir

Dostiže krajnji vakuum od 10−6 ~ 10−9 Pa, široko se koristi za dekorativno premazivanje velikih površina, premazivanje optičkih sočiva, peći za vakumsku toplinsku obradu i velike svemirske simulacijske komore. U slučaju da se u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog članka primjenjuje na proizvod, proizvođač mora upotrijebiti sljedeće kriterije: U slučaju da se koristi za proizvodnju proizvoda, u skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, proizvodnja proizvoda može se upotrebljavati samo za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju za proizvodnju proizvoda. Trend u industriji: Turbomolekularne suhe pumpe postupno zamjenjuju pumpe za difuziju ulja u proizvodnim linijama preciznih poluprovodnika, ali pumpe za difuziju ulja ostaju nezamjenljive za velike komore i industrijske procese s umjerenim zahtjevima za čistoću zbog velike brzine pumpanja i

4.3 Parne strujne pumpe

Visokotlakna para pretvara se u superzvučni mlazni tok kroz Lavalovu mlaznicu, koja uvodi i miješa ciljani plin kako bi se ostvarilo pumpanje. Bez pokretnih mehaničkih dijelova, mlazne pumpe imaju vrlo nisku stopu neuspjeha i mogu izravno obrađivati struje plina koje sadrže čestice, korozivne medije i zapaljive/eksplozivne tvari. Sredstva za proizvodnju i proizvodnju električne energije Glavne primjene uključuju vakuumsku destilaciju u petrokemiji, vakuumsku rafineriju rastopljenog čelika u metalurgiji, vakuumsko sušenje velikih materijala i vakuumske sustave za elektrane. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju električne energije u skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju električne energije u skladu s člankom 3. točkom (a) ovog članka, primjenjuje se sljedeći uvjet:

5 Uzimačke pumpe za ultra-visoki vakuum

5.1 Kriopumpe

5.1.1 Princip rada

G-M kriokoler stvara kriogene hladne ploče u dvije faze: primarna faza (5080 K) hvata vodenu paru i ugljovodike; sekundarna faza (1015 K) kondenzira dušik, kisik i argon. Aktivni ugljen prekriven sekundarnim hladnim pločama adsorbira lažne pline kao što su vodik i helij putem fizičke adsorpcije. U slučaju da se ne primjenjuje primjena ovog članka, za potrebe primjene ovog članka, za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju goriva za proizvodnju

5.1.2 Primjene i operativne specifikacije

U slučaju da se radi o proizvodnji električne energije, radi se o proizvodnji električne energije koja se koristi u proizvodnji električne energije. Prije pokretanja, prednje pumpe moraju grubo izbaciti komoru ispod 1 Pa i potpuno sušiti vakuumski sustav; izravno pokretanje pod visokim pritiskom s obilnom vodom će dovesti do hladnog glazura i trajnog oštećenja. U slučaju da se ne primjenjuje presjek, to se može učiniti u skladu s člankom 6. stavkom 3.

5.2 Ionske pumpe za ispupčenje

5.2.1 Princip rada

Penningov pražnjenje je indukovano pod ortogonalnim elektromagnetnim poljima kako bi se ionizirali molekuli plina. Visokoenergetski ioni bombardiraju titanijeve katode da bi se razbili novi aktivni filmovi titana. Reaktivni plini formiraju stabilne spojeve kemijskom reakcijom s titanijskim filmovima, dok su vodik i drugi lagani plini zarobljeni unutar titanijske kristalne rešetke. Ionske pumpe bez rotirajućih mehaničkih dijelova osiguravaju rad bez vibracija s potpuno metalnim zapečaćivanjem bez ulja i ultra dugim neprekidnim radnim vremenom bez održavanja. "Sistem za upravljanje" ili "program za upravljanje" koji je opremljen ili osposobljen za upravljanje "sistemom za upravljanje" ili "sistemom za upravljanje" ili "sistemom za upravljanje" ili "sistemom za upravljanje" ili "sistemom za upravljanje" ili "sistemom za upravljanje" ili "sistemom za upravljanje"

5.2.2 Zahtjevi i smjernice za odabir

U slučaju da je primjena sustava za prazninu u potpunosti dostupna, radi se o proizvodnji sustava za prazninu u potpunosti. Ugrađeni trajni magneti stvaraju lutali magnetna polja, što zahtijeva sigurne udaljenosti instalacije od precizne opreme za zračenje elektronskim zrake. Za pokretanje je obavezna predevakuiracija na 10−2 Pa. U slučaju da se ne primjenjuje presjek, ne smije se upotrebljavati.

5.3 Titanijske sublimacijske pumpe (TSP) i neporavne geter pumpe (NEG)

Obje služe kao pomoćne pumpe za UHV/XHV sustave, obično kombinirane s ionskim pumpama i kriopumpama:

• S druge strane, za proizvodnju električnih vozila s brzinom od 300 km/h ili većom u slučaju da se ne primjenjuje primjena ovog članka, u skladu s člankom 3. stavkom 2. "Stručni sustav" za upravljanje energijom ili energijom koji je opremljen ili osmišljen za:
• S druge strane, za proizvodnju električnih goriva za snimanje, upotrebljavanje ili proizvodnju električnih goriva za snimanje, upotrebljavanje ili proizvodnju električnih goriva za snimanje, upotrebu ili proizvodnju električnih goriva za snimanje, upotrebu ili proizvodnju električnih goriva za snimanje, upotrebu ili proizvodnju električnih : Zr-V-Fe legura aktivira se na 400450 °C kako bi formirala porozne strukture, ostvarujući kemijsku adsorpciju vodika, ugljikovog monoksida, ugljikovog dioksida i vodene pare na sobnoj temperaturi. Bez vibracija i bez ulja s produženim životnim vijekom, neučinkovit za metan i inertne plinove. Primarne primjene: Prstenovi za skladištenje sinhrotronskog zračenja, ubrzivači čestica i visoko-kvalitetna poluprovodnička oprema, koja se koristi za izgradnju čistih UHV/XHV sustava i jamčenje stabilnog kvaliteta zraka i pouzdanosti eksperimenta.

6 Opća metoda za odabir vakuumskih pumpi

U slučaju da se ne može utvrditi određena vrijednost, potrebno je utvrditi vrijednost za određenu kategoriju proizvoda.

• Ciljna razina vakuuma u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za sve proizvode koji se upotrebljavaju u proizvodnji električne energije, za koje se primjenjuje točka (b) ovog članka, za koje se primjenjuje točka (c) ovog članka, za koje se primjenjuje točka (d) ovog članka, za koje se
• Standardi čistoće za poluprovodnike, farmaceutske proizvode i precizne analize prednost imaju suhe pumpe, kriopumpe i ionske pumpe; za metalurgiju, pakovanje i industrijsko premazivanje velikih površina prihvatljive su ulje zapečaćene rotirajuće pumpe i ulje difuzne pumpe s ograničenim ograničenjima čisto
• Ustanovi procesa u skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2. ovog Pravilnika, za proizvodnju električnih goriva za upotrebu u proizvodnji električnih goriva za upotrebu u proizvodnji električnih goriva za upotrebu u proizvodnji električnih goriva za upotrebu u proizvodnji električnih goriva za upotrebu u proizvodnji električnih goriva za upotrebu u
• Odgovarajući brzina pumpanja u slučaju da se radi o pompom za povećanje brzine, potrebno je osigurati da je pompa za povećanje brzine u skladu s uvjetima za ispuštanje.
• Troškovi kapitala i održavanja : Rotirajuće pumpe s masenim čepom nude niske početne troškove za kratkoročno povremeno radno vrijeme; suhe pumpe su optimalne za dugoročnu neprekidnu čistu proizvodnju; pumpe za difuziju ulja su isplativne za velike komore s umjerenim zahtjevima za čistoću; suhe

Ukratko, vakuumske tehnologije oslanjaju se na kombinirane konfiguracije različitih tipova pumpi kako bi pokrili cjelokupne industrijske lance od osnovne proizvodnje do najsavremenijih temeljnih istraživanja. Neprestano poboljšanje razine vakuuma i čistoće okoliša pokreće tehnološku iteraciju u proizvodnji, znanosti o materijalima, poluprovodnicima, zrakoplovstvu i osnovnoj fizici.