製品

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複合分子ポンプ抽出速度: 200~1600 L/秒

製品詳細
関連製品

製品詳細

概要

複合分子ポンプは、ターボモレキュラーポンプとドラッグポンプで構成されています。分子流れを処理する際の高抽気速度と高圧縮比を持つターボモレキュラーポンプの特性と、高圧での高抽気速度と高圧縮比を持つドラッグポンプの特性を組み合わせています。これにより分子ポンプの応用範囲が拡大します。複合分子ポンプは非選択性であり、ガスに記憶効果がありません。高い分子量を持つガスに対して高い圧縮比を有するため、冷罠やオイルバaffleを必要とせずにクリーンな高真空および超高真空を達成できます。

特徴

● 無油クリーン真空
● 非常に低い逆圧を実現し、高真空状態に到達します。
● 高い抽気速度でガスを迅速に除去し、真空システムの排気速度を加速します。
● 実質的に内部に可動部品がないため、低騒音・低振動となり、メンテナンスコストが削減されます。

典型的な用途

電子工学、冶金学、化学工業、科学研究、真空技術

関連製品

分子泵.png

製品パラメータ

モデル	TP-200	TP-600	TP-1200	TP-1600
送風量 (L/s)	200	600	1200	1600
ポンプ本体の焼成温度 ( ℃)	＜ 80	＜ 100	＜ 120	＜ 120
油充填量 (ml)	/	100	100	100
ポンプ重量 (Kg)	≈ 11	≈ 30	≈ 34	≈ 39
取付方向	任意の角度	垂直 ±5°
冷却水流量 (L/min)	/			1
冷却水温度 ( ℃)	/			≤ 25
周囲温度 ( ℃)	/	≤ 28		/
冷却方法	空気冷却			水冷却
バックアップポンプの使用が推奨されます (L/S)	＜2	4~8	8~15	15
ダウンタイム（分）	＜6	＜6	＜7	＜8.5
開始時間（分）	＜6	＜4	＜5	＜6
振動値（μm）	≤ 0.1
ベアリングを使用	輸入セラミックベアリング
定格速度(rpm)	30000	24000	24000	24000
前方ステージフランジ	KF25	KF40	KF40	KF50
高真空フランジ	KF40
総寸法 (mm)	208152266	265236457	294267467	327296467